ФАЗОВЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДА ТИТАНА, ВЫРАЩЕННОГО МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ
DOI:
https://doi.org/10.65164/x8hgbv33Ключевые слова:
оксид титана, магнетронное распыление, фазовая трансформация, рутиловая фаза, тонкие пленки, рентгеновская дифракция.Аннотация
В данной статье исследуются фазовые свойства тонких пленок оксида
титана, синтезированных методом магнетронного распыления. Результаты рентгеновской
дифракции показали высокую степень кристалличности пленок. Анализ пиков при 2θ = 25,2°,
43,8°,64,2° и 77,3° подтверждает возможность формирования рутиловой фазы при более
низких температурах по сравнению с традиционными методами, что открывает широкие
возможности для применения материала в современной электронике и фотокатализе
Библиографические ссылки
[1]. Hiratani M. et al. Ultra-thin titanium oxide film with a rutile-type structure //Applied Surface
Science. – 2003. – Т. 207. – №. 1-4. – С. 13-19.
[2]. Alami J. et al. On the phase formation of titanium oxide films grown by reactive high power
pulsed magnetron sputtering //Journal of Physics D: Applied Physics. – 2009. – Т. 42. – №. 11.
– С. 115204.
[3]. Hanaor, D. A., & Sorrell, C. C. (2011). Review of the anatase to rutile phase transformation.
Journal of Materials Science, 46(4), 855-874.
[4]. Musil, J., & Jaroš, M. (2013). Crystalline TiO2 thin films prepared by magnetron sputtering:
Critical review. Surface and Coatings Technology, 234, 52-58.
